°æ³² ÁøÁÖ Çѱ¹¼¼¶ó¹Í±â¼ú¿ø(¿øÀå À¯±¤¼ö)°ú ´ë±¸½Ã ¼ÒÀç ÇÕ¼º ¼®¿µÀ¯¸® Á¦Á¶»ç ¢ß¿¡½ºÆ¼¾ÆÀÌ(´ëÇ¥ ¼ÅÂÀÏ)´Â Áö³ÇØ ±¹»êÈ¿¡ ¼º°øÇÑ ÇÕ¼º ¼®¿µÀ¯¸® ¼ÒÀç¿¡ ÀÌ¾î ¿ëÁ¢ºÀµµ ±¹»êÈÇÑ µÚ º»°Ý Á¦Ç° »ý»ê¿¡ µé¾î°¬´Ù°í 14ÀÏ ¹àÇû´Ù.
¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡¼ ´ëÇü Á¦Ç°À» ¸¸µé±â À§Çؼ´Â ¼®¿µÀ¯¸®¿¡ ÀûÇÕÇÑ ¼÷·ÃµÈ ¿ëÁ¢±â¼úÀÌ ÇÊ¿äÇÏ°í, ÀÌ¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ¿ëÁ¢ºÀÀº ±×µ¿¾È Àü·® ÇØ¿Ü ¼öÀÔ¿¡ ÀÇÁ¸ÇØ ¿Ô´Ù.
ÇÕ¼º ¼®¿µÀ¯¸®´Â »ç¿°È±Ô¼Ò(SiCl4) µî°ú °°Àº ±Ô¼Ò¸¦ ÇÔÀ¯ÇÑ ±âü ¶Ç´Â ¾×ü»óÅÂÀÇ ÈÇÕ¹°À» °í¿ÂÀ¸·Î ¿ëÇØÇØ ¸¸µç °ÍÀ¸·Î, ¿©·¯ ¼ººÐÀÌ Æ÷ÇÔµÈ ´Ù¸¥ À¯¸®¿Í´Â ´Ù¸£°Ô SiO2¸¸À¸·Î ±¸¼º, ºÒ¼ø¹°ÀÌ ±ØÈ÷ Àû¾î ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÈ´Ù.
Çѱ¹¼¼¶ó¹Í±â¼ú¿ø°ú ¢ß¿¡½ºÆ¼¾ÆÀÌ´Â Áö³ÇØ ÀϺ»ÀÌ µ¶Á¡ÇÏ´ø ÇÕ¼º ¼®¿µÀ¯¸® ¼ÒÀçÀÇ ±¹»êÈ ¹× ¾ç»ê¿¡ ¼º°øÇß°í, ÀÌÈÄ ÇÕ¼º ¼®¿µÀ¯¸® ¡®À×°÷¡¯¿¡¼ ¿ëÁ¢ºÀ »ý»ê±îÁö Àü °øÁ¤À» ±¹»êÈÇß´Ù°í ÀüÇß´Ù.
±èÇüÁØ ¹Ú»ç ¿¬±¸ÆÀÀÇ ±â¼úÁö¿ø ¾Æ·¡ ¢ß¿¡½ºÆ¼¾ÆÀÌ´Â ±¤¼¶À¯ Á¦Á¶Àåºñ¿Í ±â¼úÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ÇÕ¼º ¼®¿µÀ¯¸® ¿ëÁ¢ºÀ »ý»êÀ» À§ÇÑ Àåºñ¸¦ °³¹ßÇß°í, ±¹³»ÀÇ ¼®¿µÀ¯¸® °¡°ø±â¾÷µéÀÌ ±¹»êÈÇÑ ¿ëÁ¢ºÀÀÇ ¼º´É °ËÁõµµ ¿Ï·áÇØ ±â¼ú·ÂÀ» ÀÎÁ¤¹Þ¾Ò´Ù°í ¼³¸íÇß´Ù.
ÀÌ´Â ¼ÒÀçÀÇ ±¹»êȸ¦ ÅëÇØ ¼öÀÔ¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏ´ø °ü·Ã Á¦Ç°ÀÎ ¿ëÁ¢ºÀµµ ±¹»êÈ¿¡ ¼º°øÇÑ »ç·Ê¿©¼ ±¹³» ¼®¿µÀ¯¸® °¡°ø±â¾÷µé¿¡°Ô ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ °ø±ÞÀÌ °¡´ÉÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
ƯÈ÷ ÇÕ¼º ¼®¿µÀ¯¸® À×°÷À» Á¦Á¶Çϱâ À§ÇÑ ¿ø·á´Â ½Ç¸®ÄÜ Á¦Á¶°úÁ¤ÀÇ ºÎ»ê¹°·Î 7N±Þ(¼øµµ 99.99999%) SiCl4(»ç¿°È±Ô½´)¸¦ Àü¹®Á¦Á¶È¸»ç ÀÎ OCI µî¿¡¼ °ø±ÞÀ» ¸Ã°í ÀÖ¾î ¼ÒÀç-ºÎÇ°-Á¦Ç°À¸·Î À̾îÁö´Â ±¹³» °¡Ä¡»ç½½ÀÌ ±¸ÃàµÈ °ÍÀ¸·Î Æò°¡µÈ´Ù.
±èÇüÁØ Çѱ¹¼¼¶ó¹Í±â¼ú¿ø ¹Ú»ç´Â ¡°¿ëÁ¢ºÀÀ» ½ÃÀÛÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼, µð½ºÇ÷¹ÀÌ, žçÀüÁö °øÁ¤¿ë ±âÆÇ µî ±×µ¿¾È ¼öÀÔ¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏ´ø ÇÕ¼º ¼®¿µÀ¯¸® ¼ÒÀç¿Í Á¦Ç°µéÀ» ±¹»êÀ¸·Î ´ëüÇØ ³ª°¥ °Í¡±À̶ó¸ç ¡°Á¦Ç° »ý»êÀ» À§ÇÑ ±â¼úÁö¿øÀ» ÅëÇØ ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ °æÀï·ÂÀ» ³ôÀÌ´Â µ¥ À̹ÙÁöÇÏ°Ú´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.±èÀμö ±âÀÚ iskim@kookje.co.kr
|
±¹»ê Á¦Ç°È¿¡ ¼º°øÇÑ °í¼øµµ ÇÕ¼º ¼®¿µÀ¯¸® ¿ëÁ¢ºÀÀ» »ç¿ëÇÏ°í ÀÖ´Ù. Çѱ¹¼¼¶ó¹Í±â¼ú¿ø Á¦°ø
|