- ´Ü°áÁ¤±¸¸®°¡ ¸¸µå´Â ÃÑõ¿¬»öÀÇ ¼¼°è: ±¸¸® »êȸ¦ ¿øÀÚÃþ ¼öÁرîÁö Á¦¾î
- ºÎ»ê´ë¡¤IBS¡¤¼º±Õ°ü´ë °øµ¿ ¿¬±¸Áø, À¶ÇÕ Ã·´Ü ±â¼ú·Î ±¸¸® »êÈ ¿Ïº® Á¦¾î ¼º°ú
°Ë°Ô ±×À»¸° ±¸¸´ºû ÇǺÎ, ±¸¸®°¡ »êÈµÈ Ã»³ì»ö ÀÚÀ¯ÀÇ ¿©½Å»ó. ±×·¯³ª ±¸¸®¿¡ ´ëÇÑ ±âÁ¸ÀÇ À̹ÌÁö´Â ÀÌÁ¦ Àؾî¾ß ÇÒ °Í °°´Ù. ±¸¸®ÀÇ »öÀº ºÓÀº °¥»ö ¶Ç´Â »êÈ ½Ã û³ì»öÀ¸·Î Ç¥ÇöµÇÁö¸¸ Ç¥¸éÀÇ »êȸ¦ Àß Á¦¾îÇϸé 360°¡Áö ÀÌ»óÀÇ ÃÑõ¿¬»öÀ» ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù´Â ¿¬±¸°á°ú°¡ ºÎ»ê´ëÇб³¡¤IBS¡¤¼º±Õ°ü´ë °øµ¿ ¿¬±¸Áø¿¡ ÀÇÇØ ¹ßÇ¥µÆ´Ù.
 |
Á¤¼¼¿µ ±³¼ö(ºÎ»ê´ë), 2 ÀÌ¿µÈñ ´ÜÀå(¼º±Õ°ü´ë), 3 ÃÖ¿ì¼® ±³¼ö(¼º±Õ°ü´ë)
|
- ±×°Íµµ ¸Å¿ì ¹Ý¦ÀÌ´Â ±Ý¼Ó¼ºÀÇ ¹Ý»ç»öÀ» °¡Áö°í ÀÖ¾î¼ ºñ±³ÇÒ »ó´ë°¡ ¾ø´Â ¾Æ¸§´Ù¿î »öÀ» »Ë³½´Ù.(¾Æ·¡: ¿¬±¸¿¡ »ç¿ëµÈ ±¸¸® À̹ÌÁö Âü°í)
ºÎ»ê´ëÇб³(ÃÑÀå Â÷Á¤ÀÎ)´Â ³ª³ë°úÇбâ¼ú´ëÇÐ ±¤¸ÞīƮ·Î´Ð½º°øÇаú Á¤¼¼¿µ ±³¼ö¿Í ±âÃʰúÇבּ¸¿ø(IBS) ³ª³ë±¸Á¶¹°¸® ¿¬±¸´Ü ÀÌ¿µÈñ ´ÜÀå(¼º±Õ°ü´ë ¿¡³ÊÁö°úÇаú ±³¼ö), ¼º±Õ°ü´ë ¹°¸®Çаú ÃÖ¿ì¼® ±³¼ö °øµ¿ ¿¬±¸ÁøÀÌ ´Ü°áÁ¤* ±¸¸®¹Ú¸·ÀÇ Ç¥¸é »êÈÃþÀ» Á¶ÀýÇØ 360°¡Áö ÀÌ»óÀÇ ÃÑõ¿¬»öÀ» ±¸ÇöÇÏ´Â µ¥ ¼º°øÇß´Ù°í 11ÀÏ ¹àÇû´Ù.
* ´Ü°áÁ¤: ´Ü°áÁ¤ (single-crystal)Àº Àüü ½Ã·á ³» ¿øÀÚµéÀÌ ¿¬¼ÓÀû¡¤ÁÖ±âÀûÀ¸·Î ¹è¿µÈ °íü»óŸ¦ ¸»ÇÑ´Ù. ±×·¹ÀÎ(grain)Àº ÇÑ ¹æÇâÀ¸·Î ¹è¿µÈ ¿µ¿ªÀ» ¸»Çϴµ¥ Àüü ½Ã·á°¡ ´Ü ÇϳªÀÇ ±×·¹ÀÎÀÌ¸é ´Ü°áÁ¤ÀÌÁö¸¸ º¸ÅëÀÇ ¹°ÁúÀº ÀÌ·± ±×·¹ÀεéÀÌ 1012°³ Á¤µµ·Î ¾ÆÁÖ ¸¹°í ÀÌµé °£ÀÇ °æ°èÀÎ ±×·¹ÀÎ °æ°è(grain boundary)´Â ¹°¸®Àû Ư¼ºÀ» ³ª»Ú°Ô ¸¸µç´Ù. ±×·¹ÀÎ °æ°è°¡ ÀüÇô ¾ø´Ù´Â °ÍÀº ´Ü°áÁ¤¸¸ÀÌ °®´Â °íÀ¯ÇÑ Æ¯¼ºÀÌ´Ù.
´ë¸éÀû ±¸¸®¹Ú¸·ÀÇ »êÈÃþÀ» 1~2nm(³ª³ë¹ÌÅÍ, 10¾ïºÐÀÇ 1¹ÌÅÍ) µÎ²² ¼öÁØÀ¸·Î Á¶ÀýÇÑ ÃÖÃÊÀÇ ¿¬±¸°á°ú·Î, °ü·Ã ³í¹®ÀÌ ½Å¼ÒÀç ºÐ¾ß ¼¼°è ÃÖ°í ¼öÁØÀÇ ÇмúÁöÀÎ ¡º¾îµå¹ê½ºµå ¸ÓƼ¸®¾óÁî (Advanced Materials)¡»ò¼(IF=27.398) 3¿ù 9ÀÏÀÚ¿¡ °ÔÀçµÆ´Ù.
- ³í¹® Á¦¸ñ: Color of Copper/Copper Oxide(±¸¸®ÀÇ »ö)
ÀÚÀ¯ÀÇ ¿©½Å»óÀº ±¸¸®(31Åæ)¿Í ö(125Åæ)·Î ¸¸µé¾îÁ³À¸¸ç óÀ½¿¡´Â ºÓÀº ºûÀÇ ±Ý¼Ó»öÀ» ¶ç°í ÀÖ¾ú´Ù. ±×·¯³ª ½Ã°£ÀÌ Áö³ª¸é¼ ³ìÀÌ ½½¾î ŹÇÑ Ã»³ì»öÀ¸·Î º¯ÇØ Áö±ÝÀÇ »öÀ» ¶ç°í ÀÖ´Ù. ÀÌó·³ ±Ý¼ÓÀÇ »êÈ´Â ¿©ÀüÈ÷ Çö´ë°úÇÐÀ¸·Îµµ ¿ÏÀüÈ÷ Á¤º¹ÇÏÁö ¸øÇÑ ³²°ÜÁø ¼÷Á¦ Áß ÇϳªÀ̸ç, ƯÈ÷ ±¸¸®ÀÇ »êÈ´Â ±ÔÄ¢¼ºÀÌ ¾ø¾î ¹æÇ⼺À» Á¦¾îÇÏ´Â °ÍÀÌ ºÒ°¡´ÉÇÑ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ® ¿Ô´Ù.
ºÎ»ê´ë¡¤IBS¡¤¼º±Õ°ü´ë °øµ¿¿¬±¸ÆÀÀº ÀÌ ¿¬±¸¿¡¼ ¡®¿øÀÚ ½ºÆÛÅ͸µ ¿¡ÇÇÅýÃ(ASE, Atom Sputtering Epitaxy)¡¯ ÀåÄ¡¸¦ °³¹ßÇØ ±âÁ¸ÀÇ ¹Ú¸· °áÁ¤¼ºÀå Àåºñ¿¡¼ ±¸ÇöÇÒ ¼ö ¾ø´Â 0.2nmÀÇ ¼öÁØÀÇ ÃÊÆò´Ü ´Ü°áÁ¤ ±¸¸®¹Ú¸·À» Á¦Á¶ÇÏ´Â µ¥ ¼º°øÇß´Ù. ¶ÇÇÑ À̸¦ ÀÌ¿ëÇØ ±¸¸®ÀÇ »êÈ ¹æÇâÀ» Á¦¾îÇÏ°í »êÈÃþ µÎ²²¸¦ ¿øÀÚÃþ ¼öÁØÀ¸·Î Á¶ÀýÇÏ´Â µ¥ ¼º°øÇßÀ¸¸ç, ±ÕÀÏÇÏ°Ô »êÈµÈ ±¸¸® Ç¥¸éÀÌ µÎ²²¿¡ µû¶ó ¼±¸íÇÑ ÃÑõ¿¬»öÀ» Ç¥ÇöÇÑ´Ù´Â °ÍÀ» ¹àÇô³Â´Ù.
»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ·¹ÀÌÀú¸¦ »ç¿ëÇØ ¹Ì¼Ò(Ú°á³)¿µ¿ª¸¸À» ¼±ÅÃÀûÀ¸·Î ±¹ºÎ»êȽÃŰ´Â »õ·Î¿î »êÈ ½Ä°¢(oxide-lithography) ±â¼úÀ» ¼±º¸¿© »êȸ¦ ½Ä°¢ ±â¼ú¿¡ Àû¿ëÇÏ´Â °³³äÀ» óÀ½À¸·Î ±¸ÇöÇß´Ù.
±¹ºÎ»êÈ´Â »ê¾÷ÀûÀ¸·Îµµ ¸Å¿ì Áß¿äÇÑ ±â¼úÀÌÁö¸¸ ÀϹÝÀûÀÎ ±Ý¼Ó¿¡ ·¹ÀÌÀú¸¦ ÂÉÀÏ °æ¿ì ¿¿¡ ¿µÇâÀ» ¹Þ¾Æ ºÎ½ÄµÈ »öÀ» º¸ÀÌ´Â ¿¿µÇâºÎ(heat-affected-zone, HAZ)ÀÇ ¹ß»ýÀ» ÇÇÇÒ ¼ö ¾ø´Ù. ±×·¯³ª ¿øÀÚ ½ºÆÛÅ͸µ ¿¡ÇÇÅýÃ(ASE)¿¡ ÀÇÇÑ ´Ü°áÁ¤ ¹Ú¸·À» »ç¿ëÇÒ °æ¿ì HAZ¸¦ ÃÖ¼ÒÈÇÒ ¼ö ÀÖ°í Èİ¡°ø¿¡ ÀÇÇÑ Åõ¸í»êÈÃþÀ̳ª pÇü ¹ÝµµÃ¼* ¿µ¿ª »ðÀÔ µîÀº ¹°·ÐÀ̰í 0-, 1-, 2-Â÷¿ø**ÀÇ »êȽİ¢À̹ÌÁö¸¦ ±Ý¼Ó Ç¥¸é¿¡ ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖ¾î¼ º¹Á¦ ºÒ°¡ÇÑ ¾ÏÈ£½Ä°¢, ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ Á¦ÀÛ µî¿¡ ȹ±âÀû ±â¼ú·Î Ȱ¿ëÀÌ °¡´ÉÇÒ Àü¸ÁÀÌ´Ù.
* pÇü ¹ÝµµÃ¼: ÁÖ¿ä ÀüÇÏ ¿î¹ÝÀڷΠȦÀÌ »ç¿ëµÇ´Â ¹ÝµµÃ¼´Ù. nÇü ¹ÝµµÃ¼ÀÇ °æ¿ì ÀüÀÚ°¡ ÀüÇϸ¦ ¿î¹ÝÇÏ´Â ¹Ý¸é pÇü ¹ÝµµÃ¼´Â ¾çÀÇ ÀüÇϸ¦ °¡Áö´Â ȦÀÌ ¿î¹ÝÀڷμ À̵¿ÇØ Àü·ù¸¦ È帣°Ô ÇÑ´Ù. ¹ÝµµÃ¼¿¡¼´Â nÇü°ú ÇÔ²² pÇüÀÌ ²À ÀÖ¾î¾ß ¼ÒÀÚ Á¦ÀÛÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.
** 0-, 1-, 2-Â÷¿ø: Â÷¿øÀº °ø°£ÀÇ Â÷¼ö¸¦ ³ªÅ¸³»´Â ¼öÇÐÀû Ç¥ÇöÀ¸·Î ¹°Áú¿¡¼ 0Â÷¿øÀº Á¡, 1Â÷¿øÀº ¼±, 2Â÷¿øÀº ¸é, 3Â÷¿øÀº üÀû °ø°£À» ³ªÅ¸³½´Ù.
°øµ¿±³½ÅÀúÀÚÀÎ Á¤¼¼¿µ ºÎ»ê´ë ±³¼ö(´Ü°áÁ¤ÀºÇ࿬±¸¼ÒÀå)´Â ¡°±¸¸®ÀÇ »êȰ¡ ¿Ïº®ÇÏ°Ô Á¦¾îµÇ´Â °ÍÀº ³ª³ë±â¼ú°ú Àç·á°úÇÐ ¹× ¹°¸®ÇÐÀû Áö½ÄÀÌ À¶ÇÕµÈ Ã·´Ü ±â¼ú·Î¼ Çй®ÀûÀ¸·Î ±×¸®°í »ê¾÷ÀûÀ¸·Îµµ ¸Å¿ì Áß¿äÇÑ Àǹ̸¦ °¡Áö¸ç ¿ì¸® »ýȰ ÁÖº¯¿¡ °¡Àå ÈçÇÏ´Ù°í »ý°¢Çß´ø ±¸¸®¸¦ ÀÌÁ¦ ´Ù¸¥ ½Ã°¢¿¡¼ ºÁ¾ßÇÒ ½ÃÁ¡ÀÌ µÇ¾ú´Ù¡±¸ç ¿¬±¸ÀÇ ÀÇÀǸ¦ ¹àÇû´Ù.
À̹ø ¿¬±¸¿¡´Â ºÎ»ê´ë ±è¼öÀç ¹Ú»ç(´Ü°áÁ¤ÀºÇ࿬±¸¼Ò), ¼¿ï´ë ±è¼ºÈÆ ¹Ú»ç(»ý¸í°úÇкÎ), ¼º±Õ°ü´ë ÀÌÁ¦°ï(¹°¸®Çаú) ´ëÇпø»ýÀÌ Á¦1ÀúÀÚ·Î Âü¿©Çß´Ù.
¿¬±¸ÁøÀº ¾ÕÀ¸·Î ±¸¸®¸¦ »êȽÃÄÑ Åõ¸íÇÑ p-type »êȹ° ¹ÝµµÃ¼·Î Ȱ¿ëÇÏ´Â ¿¬±¸¿Í »êÈ ½Ä°¢À» ÅëÇØ ±âÁ¸ÀÇ ¹æ½Ä°ú´Â ÀüÇô ´Ù¸¥ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤À» °³¹ßÇÏ´Â ¿¬±¸¸¦ ¼öÇàÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ±èÁØ¿ë ±âÀÚ jykim@kookje.co.kr