부산지역 전력반도체 업체인 제엠제코의 모듈 패키징 공정라인. 사진은 기사 내용과 직접적인 관련 없음. 제엠제코 제공

산업통상부의 전력반도체 분야 공모에서 부산 사업 2개가 선정되면서 국비 200억 원을 확보했다. 부산시는 4년간 국·시비 총 286억 원을 투입해 차세대 전력반도체 생태계 조성에 집중한다는 계획이다.

시는 산업부 주관 ‘소재·부품·장비(소부장) 기술개발 기반구축’ 공모에서 부산테크노파크(TP)의 ‘극한·극지 산업용 화합물반도체 제조인프라 구축’과 부산대 산학협력단의 ‘탄화규소(SiC) 고효율 전력반도체 기판분석 기반조성’ 등 2개 사업이 최종 선정됐다고 4일 밝혔다. 연구개발 기간은 2029년까지 최장 4년으로, 사업별 최대 100억 원 규모로 국비를 지원한다. 1차 연도에 각 20억 원이 지원될 예정이다.

‘극한·극지 산업용 화합물반도체 제조인프라 구축’ 사업은 극한 환경에서도 안정적으로 작동하는 전력반도체 생산을 목표로 한다. 이를 위해 8인치 화합물반도체 전 공정 제조플랫폼 구축이 필요하다. SiC 화합물반도체 제조 핵심장비 8종을 우선 구축하고, TP의 인력과 공정기술 데이터를 활용해 기업 표준화 공정을 확립한다.

‘SiC 고효율 전력반도체 기판분석 기반조성’ 사업은 기판 결함 분석부터 설계·제조 공정 연계 검증까지 가능한 통합 분석 플랫폼을 구축하는 게 목표다. 부산대 동의대 TP가 협력해 기판 결함 검사장비 등 핵심장비 5종을 도입하고 첨단 분석 기반을 구축해 관련 기업을 지원한다.

한편 부산은 2023년 7월 산업부 ‘제2기 소부장산업 특화단지’로 지정된 이후 생산 기반 구축, 연구개발, 인력 양성, 기업 투자 유치 등의 성과를 인정받아 지난해 ‘전국 우수 소부장산업 특화단지’로 선정됐다. 현재 시는 총사업비 400억 원을 들여 8인치 SiC 전력반도체 전용 생산시설인 ‘제2 팹’ 건립을 추진 중이다. 내년에 준공하고 공정장비 14종을 도입할 예정으로, 극지·우주·방산 등 극한 환경에 대응하는 고신뢰성 전력반도체 기술 기반을 다진다는 계획이다.