이승욱 대표이사(왼쪽), 이정현 기술이사

- 반도체 클린룸용 기술 연구 논문
- 여과효율 방전 이후도 높게 유지

부산 대표 기술창업기업 ‘부니콘’에 선정된 ㈜뉴라이즌의 반도체 클린룸용 나노섬유 필터 연구 성과가 세계적 수준의 국제학술지에 게재되며 기술 경쟁력을 인정받았다.

20일 부산기술창업투자원에 따르면 이승욱 뉴라이즌 대표이사가 제1저자, 이정현 기술이사가 제2저자로 참여한 반도체 클린룸용 나노섬유 필터 연구 논문이 국제학술지 ‘폴리머스(Polymers)’에 실렸다.

폴리머스는 과학기술인용색인(SCIE)에 등재된 저널인용보고서(JCR) 고분자과학 분야 Q1(상위 25%) 학술지로, 최신 피인용지수(Impact Factor)는 5.8이다.뉴라이즌 연구진은 정전(일렉트렛) 섬유층과 나노섬유층을 초음파 접합 방식으로 결합한 하이브리드 다층 필터를 개발했다. 부산대 건축공학과 안영철 교수 연구팀이 국제표준 ‘ISO 29463-5’ 기준 방전 시험을 실시한 결과, 이 필터는 방전 이후에도 높은 여과효율을 유지하는 것으로 나타났다. 기존 상용 멜트블로운 필터의 여과효율 41.4%를 크게 상회했다. 여과효율과 압력손실을 종합적으로 평가하는 품질계수(QF)에서도 상용 유리섬유 필터 대비 4배 이상의 성능을 기록했다. 압력손실이 낮은 필터는 클린룸 천장에 대규모로 설치되는 팬필터유닛(FFU)의 소비전력을 직접적으로 줄일 수 있다.

연구진은 스케일링 분석을 통해 약 52%의 FFU 전력 절감 잠재력을 제시, 앞으로 첨단 제조산업의 탄소중립 및 RE100 대응에도 활용할 수 있을 것으로 기대한다. 반도체와 이차전지 등 첨단 제조산업 공정이 미세화되면서 클린룸의 나노미터급 입자 관리가 제품 수율을 좌우하는 핵심으로 작용하는 상황이다. 클린룸 공조 과정에서 발생하는 막대한 에너지 사용량을 줄이는 것도 주요 과제로 꼽힌다. 이승욱 뉴라이즌 대표이사는 “외산 소재 의존도가 높은 클린룸 필터 시장에서 국내 기업이 설계 원천기술을 확보하고, 첨단 제조산업이 요구하는 청정도와 에너지 효율을 동시에 충족해 글로벌 경쟁력을 확보해 나가겠다”고 말했다.