- ÀϺ», ÃÖ±Ù ÇÑ ´Þ¸¸¿¡ ¼öÃâ ½ÂÀÎ
- »ï¼º ¡®´ëü ·çÆ®¡¯ ¿µÇâÀÏ °¡´É¼º
ÀϺ» Á¤ºÎÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç Çѱ¹ ¼öÃâ ±ÔÁ¦¸¦ °è±â·Î Çѱ¹ ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷µéÀÇ ¼ÒÀç Á¶´Þ ¹®Á¦°¡ Áß¿ä °úÁ¦·Î ¶°¿À¸¥ °¡¿îµ¥ »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ÀÌ¹Ì º§±â¿¡¿¡¼ ÀϺΠÇÙ½É ¼ÒÀ縦 Á¶´ÞÇÏ°í ÀÖ´Ù°í ÀϺ» °æÁ¦Àü¹® ¸Åü ¡®´ÖÄÉÀÌ ¾Æ½Ã¾È ¸®ºä¡¯°¡ 11ÀÏ º¸µµÇß´Ù.
ÀÌ ¸Åü´Â »ï¼º °£ºÎ Ãâ½ÅÀÎ ÇѾç´ë ¹ÚÀç±Ù(¹ÝµµÃ¼°øÇÐ) ±³¼öÀÇ ¸»À» ÀοëÇØ ¡°»ï¼ºÀüÀÚ°¡ º§±â¿¡¿¡ ¼ÒÀçÇÑ ÇÑ ¾÷ü¿¡¼ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®(°¨±¤¾×)¸¦ Á¶´ÞÇÏ°í ÀÖ´Ù¡±°í ÀüÇß´Ù. ¹Ú ±³¼ö¿¡ µû¸£¸é »ï¼ºÀüÀÚ´Â ÃÖ÷´Ü Ĩ Á¦Á¶ °øÁ¤¿¡¼ ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ȸ·Î ÆÐÅÏÀ» ÀúÀåÇÏ´Â µ¥ »ç¿ëÇÏ´Â ÀÌ ÈÇй°ÁúÀ» 6~10°³¿ù ´ÜÀ§ ¹°·®À¸·Î ±¸ÀÔÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÀÌ ¸Åü´Â ¹Ú ±³¼ö°¡ º§±â¿¡ °ø±Þ¾÷ü À̸§À» °ø°³ÇÏÁö ¾Ê¾ÒÁö¸¸, ÀϺ» ±â¾÷ JSR¿Í º§±â¿¡ ¿¬±¸¼¾ÅÍ IMEC°¡ 2016³â ¼³¸³ÇÑ ÇÕÀÛ¹ýÀÎ EUV·¹Áö½ºÆ®ÀÏ °ÍÀ¸·Î ÃßÁ¤Çß´Ù. ÀÌ ÇÕÀÛȸ»çÀÇ ÃÖ´ë ÁÖÁÖ´Â JSRÀÇ º§±â¿¡ ÀÚȸ»çÀÎ JSR¸¶ÀÌÅ©·Î´Ù.
´ÖÄÉÀÌ ¾Æ½Ã¾È ¸®ºä´Â JSR »çÁ¤¿¡ ¹àÀº ÇÑ ¼Ò½ÄÅëÀÌ ÀϺ» Á¤ºÎÀÇ ¼öÃâ ±ÔÁ¦ Á¶Ä¡°¡ ¹ßÇ¥µÈ ÈÄÀÎ Áö³´Þ Áß¼ø ¡°¿ì¸®´Â º§±â¿¡ ÇÕÀÛ¹ýÀÎÀ» ÅëÇØ »ï¼º¿¡ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¸¦ °ø±ÞÇÒ °Í¡±À̶ó°í ¸»Çß´Ù¸é¼ ¹Ú ±³¼öÀÇ ¾ð±ÞÀº ÀÌ ¸»À» µÞ¹ÞħÇÑ´Ù°í ÀüÇß´Ù.
ÀÌ ¸Åü´Â ´Ù¸¸ ÀϺ» ±â¾÷ÀÌ Á¦3±¹ÀÇ ½Ã¼³À» ÅëÇØ Çѱ¹¿¡ ±ÔÁ¦ Ç°¸ñÀ» °ø±ÞÇÏ´Â °ÍÀº ÇÕ¹ýÀûÀ̾î¾ß ÇÑ´Ù¸ç ÀϺ» Á¤ºÎÀÇ °¨½Ã¸¦ ¹ÞÀ» ¼ö ÀÖ´Ù°í µ¡ºÙ¿´´Ù.
Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â ÀϺ» °æÁ¦»ê¾÷¼º(°æ»ê¼º)ÀÌ Áö³´Þ 4ÀϺÎÅÍ Çѱ¹¿¡ ´ëÇÑ 1Â÷ ¼öÃâ±ÔÁ¦¸¦ °¡ÇÑ ÀÌÈÄ ±ÔÁ¦ ´ë»óÀÌ µÈ 3°³ °¡¿îµ¥ ù ¹ø°·Î Çã°¡°¡ ³ª¿Â Ç°¸ñÀÌ´Ù.
°æ»ê¼ºÀº Áö³ 8ÀÏ °³º° ¼öÃâ ½ÅûÀÌ µé¾î¿Â »ï¼ºÀüÀÚ¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼öÃâ °Ç¿¡ ´ëÇØ ±º»çÀü¿ë ¿ì·Á°¡ ¾ø´Ù°í ÆÇ´ÜÇØ Åë»ó ½É»ç ±â°£(90ÀÏ)À» ´ëÆø ´ÜÃàÇØ ÇÑ ´Þ¿© ¸¸¿¡ ½ÂÀÎÇß´Ù°í ÀÌ·ÊÀûÀ¸·Î ¹ßÇ¥Çß¾ú´Ù.
°æ»ê¼ºÀº ´ç½Ã ¿¹»óº¸´Ù ºü¸¥ Çã°¡¸¦ ³»ÁÖ¸é¼ ¿ä°ÇÀÌ ¸ÂÀ¸¸é ±ÔÁ¤¿¡ µû¶ó ¼öÃâ ½ÂÀÎÀ» °è¼Ó ³»ÁÙ °ÍÀ̶ó¸ç ÀϺ»ÀÇ ¼öÃâ ±ÔÁ¦°¡ Á¤Ä¡Àû ¸ñÀûÀÌ ¾Æ´Ï¶ó ¼öÃâ°ü¸® Â÷¿ø¿¡¼ ÀÌ·ïÁö´Â °ÍÀÓÀ» °Á¶ÇÏ´Â ¸íºÐÀ¸·Î »ï¾Ò´Ù.
ÀÌ·± Á¤È² ¶§¹®¿¡ °æ»ê¼ºÀÌ Á¶±â Çã°¡¸¦ ³»ÁØ ¹è°æ¿¡ »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ´ëü °ø±Þ¿øÀ» È®º¸ÇÑ Á¡À» °í·ÁÇÑ °Ô ¾Æ´Ï³Ä´Â °üÃøÀÌ ³ª¿À°í ÀÖ´Ù. ´ÏÈ¥°ÔÀÌÀÚÀ̽Ź®Àº À̳¯ °ü°è¸ÅüÀÎ ¡®´ÖÄÉÀÌ ¾Æ½Ã¾È ¸®ºä¡¯¸¦ ÀοëÇØ »ï¼ºÀüÀÚ°¡ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ´ëü °ø±Þ¿øÀ» È®º¸Çß´Ù°í ÀüÇÏ¸é¼ ÀϺ» Á¤ºÎÀÇ ¼öÃâ±ÔÁ¦°¡ Çѱ¹ ±â¾÷¿¡ ¹ÌÄ¡´Â ¿µÇâÀÌ Á¦ÇÑÀûÀÏ °ÍÀ̶ó´Â ¹Ú ±³¼öÀÇ ¸»À» ¼Ò°³Çß´Ù. ¿¬ÇÕ´º½º